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Pourquoi la salle propre OUVRIÈRE doit-elle commander l'humidité ?

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Pourquoi la salle propre OUVRIÈRE doit-elle commander l'humidité ?

Pourquoi la salle propre OUVRIÈRE doit-elle commander l'humidité ?

 

L'humidité est une condition du contrôle environnementale commune dans l'opération des cleanrooms. La valeur à atteindre de l'hygrométrie dans la salle propre de semi-conducteur est commandée pour être de l'ordre de 30 à 50%, permettant à l'erreur d'être dans une marge étroite de ±1%, tel qu'un secteur photolithographique - ou même plus petit dans le secteur (DUV) de traitement loin ultra-violet. - Dans d'autres endroits, vous pouvez détendre à moins de ±5%.

Puisque l'hygrométrie a un certain nombre de facteurs qui peuvent contribuer à la représentation globale de la salle propre, inclusion :

croissance bactérienne de ● ;

● la gamme du confort qui le personnel se sent à la température ambiante ;

La charge statique de ● apparaît ;

corrosion en métal de ● ;

Condensation de vapeur d'eau de ● ;

dégradation de ● de la lithographie ;

Absorption d'eau de ●.

 

Les bactéries et d'autres contaminants biologiques (moule, virus, champignons, acarides) peuvent activement se multiplier dans les environnements avec l'hygrométrie au-dessus de 60%. Une certaine flore peut se développer quand l'hygrométrie dépasse 30%. Quand l'hygrométrie est entre 40% et 60%, les effets des bactéries et des infections respiratoires peuvent être réduits au minimum.

 

L'hygrométrie de l'ordre de 40% à 60% est également une gamme modeste dans laquelle les humains se sentent confortables. L'humidité excessive peut inciter des personnes à se sentir malaise déprimé et alors que l'humidité en-dessous de 30% peut inciter des personnes à se sentir sèches, gercé, respiratoire et malaise émotif.

Le humidité élevé réduit réellement l'accumulation de la charge statique sur la surface de la salle propre - c'est l'effet désiré. L'humidité faible est plus appropriée à l'accumulation de charge et à une source potentiellement préjudiciable de décharge électrostatique. Quand l'hygrométrie dépasse 50%, la charge statique commence à absorber rapidement, mais quand l'hygrométrie est moins de 30%, ils peuvent persister pendant longtemps sur l'isolateur ou la surface sans mise à la terre.

L'hygrométrie entre 35% et 40% peut être un compromis satisfaisant, et les cleanrooms de semi-conducteur utilisent typiquement les contrôles supplémentaires pour limiter l'accumulation de la charge statique.

 

La vitesse de beaucoup de réactions chimiques, y compris le procédé de corrosion, augmentera à mesure que l'hygrométrie augmente. Toutes les surfaces exposées à l'air entourant la salle propre sont rapidement couvertes au moins d'une couche unitaire de l'eau. Quand ces surfaces se composent de revêtement des métaux mince qui peut réagir avec de l'eau, le humidité élevé peut accélérer la réaction. Heureusement, quelques métaux, tels que l'aluminium, peuvent former un oxyde protecteur avec de l'eau et empêcher d'autres réactions d'oxydation ; mais un autre cas, tel que l'oxyde de cuivre, n'est pas protecteur, ainsi dans des environnements de humidité élevé, les surfaces de cuivre sont plus susceptibles de la corrosion.

 

En outre, dans un environnement élevé d'hygrométrie, le vernis photosensible est augmenté et aggravé après le cycle de cuisson dû à l'absorption de l'humidité. L'adhérence de vernis photosensible peut également être négativement affectée par une hygrométrie plus élevée ; abaissez l'hygrométrie (environ 30%) facilite l'adhérence de vernis photosensible, même sans besoin de modificateur polymère.

L'hygrométrie de contrôle dans une salle propre de semi-conducteur n'est pas arbitraire. Cependant, car le temps change, il est le meilleur de passer en revue les raisons et les bases du terrain communal, pratiques courantes.

 

L'humidité ne peut pas être particulièrement apparente pour notre confort humain, mais elle a souvent un grand impact sur le processus de fabrication, particulièrement où l'humidité est haute, et l'humidité est souvent le plus mauvais contrôle, qui est pourquoi dans le contrôle de la température et d'humidité de la salle propre, humidité est préférée.

 

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