nouvelles de l'entreprise Quelle est la classe générale des salles blanches modulaires dans les usines de semi-conducteurs ?

Quelle est la classification générale des salles blanches modulaires dans les usines de semi-conducteurs ?

Les salles blanches modulaires dans les usines de semi-conducteurs sont conçues pour répondre aux normes de propreté de l'air strictes dictées par les processus de fabrication spécifiques, se conformant principalement au système de classification ISO 14644-1. Les niveaux les plus courants sont les suivants :

1. Classe ISO 4 (Équivalent à Fed-Std-209E Classe 10) C'est le niveau le plus élevé généralement mis en œuvre sous forme modulaire. Il est réservé aux zones de processus les plus critiques, telles que les baies de photolithographie pour nœuds avancés, les zones clés de dépôt de couches minces et les environnements de lithographie EUV (Ultraviolet Extrême). Ces zones exigent des comptes de particules quasi nuls pour des particules aussi petites que 0,1 μm. Les salles blanches modulaires y parviennent grâce à des réseaux denses d'unités de ventilation et de filtration (FFU) HEPA ou ULPA dans le plafond, créant un flux d'air laminaire vertical unidirectionnel descendant vers le plancher surélevé. Elles sont intégrées à des contrôles rigoureux de la température, de l'humidité et des vibrations.

2. Classe ISO 5 (Classe 100): C'est la norme de référence pour les zones de fabrication principales. La majorité des salles blanches modulaires pour des processus tels que la diffusion, la gravure, l'implantation ionique et la planarisation mécano-chimique (CMP) dans les usines de logique et de mémoire courantes sont construites selon la norme ISO 5. Elles fournissent un environnement contrôlé où le nombre de particules ≥0,5 μm est limité à 3 520 par mètre cube. La construction modulaire permet une disposition efficace des outils de processus, des chemins de services publics et des plénums d'air de retour.

3. Classe ISO 6 (Classe 1 000): Celles-ci sont couramment déployées pour des zones légèrement moins critiques, telles que certaines zones de métrologie, certaines lignes d'assemblage et de conditionnement, les stations d'inspection de plaquettes et les couloirs de transfert de matériaux propres (AMHS). Elles conviennent également à la production de semi-conducteurs de puissance ou de dispositifs sur des nœuds de processus matures.

4. Classe ISO 7 (Classe 10 000) et Classe ISO 8 (Classe 100 000): Les salles blanches modulaires à ces niveaux servent des fonctions de support et auxiliaires. Elles sont généralement utilisées pour les baies de service d'équipement, les zones d'approvisionnement en produits chimiques et en gaz (zones de livraison en vrac), les salles de préparation et les zones de préparation au chargement/déchargement des plaquettes. Elles agissent comme des zones tampons pour empêcher la contamination d'atteindre le cœur de l'usine de classe supérieure.