nouvelles de l'entreprise À quel point la fabrication de puces électroniques est-elle propre?

Dans le processus de fabrication des puces électroniques, les exigences en matière de propreté dans les différentes zones de production sont différentes,principalement basé sur la norme ISO 14644-1 et les besoins de précision du processus de production pour déterminerVoici les exigences spécifiques:

1. zone de fabrication de gaufres

Zone lithographique:Les exigences de propreté les plus élevées, normalement ISO 1-3, doivent contrôler les particules de 0,1 micron et plus.des particules minuscules peuvent causer des défauts dans le motif de photolithographie, affectant les performances de la puce.
Zones de gravure et de dépôt:Des exigences de propreté élevées, généralement ISO 3-5, doivent contrôler les particules de 0,3 micron et plus.

2. Emballez la zone d'essai

Surface de l'emballageLes exigences en matière de propreté moyenne, généralement ISO 5-7, doivent contrôler les particules de 0,5 micron et plus.
Zone d'essai:Les exigences en matière de propreté sont faibles, généralement ISO 7-8, il est nécessaire de contrôler les particules de 0,5 micron et plus.

3. zone auxiliaire

Zone de stockage des produits chimiques:Les exigences en matière de propreté sont faibles, généralement ISO 7-8.
Zone de maintenance des équipements:exigences minimales en matière de propreté, généralement au niveau ISO 8.

4- Zone d'accès du personnel et du matériel

Chambres d'habillement et douches à air:Les exigences en matière de propreté sont moyennes, généralement ISO 5-7.
Zone d'accès au matériel:Les exigences en matière de propreté sont faibles, généralement au niveau ISO 7-8.
Mesures de maintien de la propreté
Système de purification de l'air:Équipé d'un filtre à haute efficacité (HEPA) et d'un filtre à ultra-haute efficacité (ULPA) pour assurer la propreté de l'air.
Organisation du débit d'air:Le flux unidirectionnel vertical est généralement utilisé dans la région de la lithographie, et le flux non unidirectionnel peut être utilisé dans d'autres régions.
Contrôle de la température et de l'humidité:La température est généralement contrôlée à 22 °C ± 2 °C et l'humidité à 45% à 65% de H.R.
Régulation de la pression positive:Une différence de pression positive de 5 à 10 Pa doit être maintenue entre la zone propre et la zone impure.

En résumé, les exigences en matière de propreté de la fabrication de puces électroniques varient en fonction du procédé et de la région, les zones de lithographie et de gravure ont des exigences de propreté élevées,tandis que les zones d'emballage et d'essai sont relativement faiblesCes normes strictes de propreté sont essentielles pour assurer la qualité de la fabrication des puces.