Le plancher de Cleanroom est une considération importante en concevant un cleanroom. Il est conçu pour réduire au minimum la génération particulaire, facilite le nettoyage, et maintient l'intégrité de l'environnement de cleanroom. Les matières parquetantes les plus communes employées dans les cleanrooms sont vinyle, époxyde, et polyuréthane.

La structure du cleanroom parquetant typiquement se compose d'un sous-sol, d'une couche adhésive, et d'une couche supérieure de parqueter le matériel. La couche supérieure de parqueter le matériel devrait être choisie basée sur la classe et l'application de cleanroom, aussi bien que longévité et facilité du nettoyage. Tous les matériaux parquetants devraient être non-rejet, bas-linting, et résistants pour endommager des solutions de nettoyage.

Pour maintenir la propreté du plancher de cleanroom, il est important de suivre un programme régulier de nettoyage et d'entretien. Selon le niveau de l'activité et du type de contaminants actuels, la fréquence du nettoyage et l'entretien peuvent varier. Tout le nettoyage devrait être exécuté utilisant l'équipement spécialisé et les solutions de nettoyage, et n'importe quelles réparations ou remplacement du plancher devraient être exécutés par les professionnels qualifiés.