Normes de condition d'industrie de Cleanroom

Les exigences de la marche d'un cleanroom identifient le niveau de classe de cleanroom exigé à un état ou à un état donné. Il y a à trois nivaux de la condition (états) pour examiner et caractériser la représentation des cleanrooms : des réalisations ; au repos ; et opérationnel. Des méthodes spécifiques d'essai pour ces trois classifications sont décrites dans le 14644-3:2005.

La plupart des cleanrooms sont évalués et vendus dans la salle vide de catégorie-un des réalisations avec le fonctionnement de système de filtre, mais sans travailleurs et équipement de production. Cependant, ajouter les travailleurs et l'équipement présentera la contamination et affectera l'estimation de pièce. Une salle propre peut être OIN évaluée 6 au repos, mais à OIN 7 lors du fonctionnement. Pour se conformer aux exigences de marche, la salle vide des réalisations devrait être examinée et évaluée, suivi de l'essai et de la documentation des états de repos et opérationnels. Si la contamination dans les états de repos ou opérationnels n'est pas dans la conformité, des mesures correctives doivent être prises. Ces étapes peuvent s'étendre d'examiner le processus de fabrication et le nombre de travailleurs dans le cleanroom, à examiner la représentation de circulation de l'air de la salle.

En outre, la représentation de circulation d'air de cleanroom peut être de manière rentable améliorée en ajoutant des modules de filtre de fan (FFM). Par exemple, couverture approximativement 5-15% de FFMs d'un plafond de cleanroom de classe d'OIN 8. L'évolution à un cleanroom d'OIN 7 exige la couverture du plafond 15-25% et le couvert de 25-40% du plafond change la salle en classe d'OIN 6.